電感耦合等離子體質(zhì)譜儀是一種高精度、高靈敏度的分析儀器，其工作原理基于電感耦合等離子體技術(shù)和質(zhì)譜分析技術(shù)的結(jié)合。首先，通過(guò)霧化器將溶液樣品送入等離子體光源，在高溫下汽化并解離出離子化氣體。這些離子經(jīng)過(guò)取樣錐進(jìn)入低真空環(huán)境中形成分子束，再經(jīng)過(guò)四極質(zhì)譜分析器進(jìn)行質(zhì)量分離，最終到達(dá)離子探測(cè)器。根據(jù)探測(cè)器的計(jì)數(shù)與濃度的比例關(guān)系，可以測(cè)出元素的含量或同位素比值。
1、離子源
高溫等離子體產(chǎn)生：通過(guò)在電感線圈上施加強(qiáng)大的高頻射頻信號(hào)，在線圈內(nèi)部形成高溫等離子體。這種等離子體溫度高，通常可達(dá)8000K左右，能夠使大多數(shù)樣品中的元素電離出一個(gè)電子而形成一價(jià)正離子。
氣體推動(dòng)與平衡：利用氣體的推動(dòng)作用，保證了等離子體的平衡和持續(xù)電離，使離子源穩(wěn)定地產(chǎn)生離子。
2、進(jìn)樣系統(tǒng)
多形式進(jìn)樣：要求所有樣品以氣體、蒸汽和細(xì)霧滴的氣溶膠或固體小顆粒的形式進(jìn)入中心通道氣流中。針對(duì)不同樣品性狀，有多種引入方式，如溶液氣動(dòng)或超聲方式引入、電熱蒸發(fā)方式引入、激光或火花方式引入、氣體發(fā)生方式引入等。
高效傳輸：進(jìn)樣系統(tǒng)將處理后的樣品有效地傳輸?shù)降入x子體中，確保樣品能夠充分離子化。
3、接口部分
壓力匹配：接口是整個(gè)儀器最關(guān)鍵的部分之一，其功能是將等離子體中的離子有效傳出到質(zhì)譜。由于質(zhì)譜和等離子體之間存在溫度、壓力和濃度的巨大差異，接口技術(shù)需要解決如何將高溫、常壓下的等離子體中的離子有效地傳輸?shù)礁哒婵铡⒊叵碌馁|(zhì)譜儀的難題。
離子傳輸穩(wěn)定性：必須使足夠多的等離子體在兩個(gè)壓力差別非常大的區(qū)域之間有效傳輸，而且在離子傳輸?shù)娜^(guò)程中，不應(yīng)該產(chǎn)生任何影響最終分析結(jié)果可靠性的反應(yīng)，即樣品離子在性質(zhì)和相對(duì)比例上不應(yīng)有變化。
4、質(zhì)量分析器
四極桿過(guò)濾器：利用靜電透鏡系統(tǒng)將穿過(guò)截取錐的離子拉出來(lái)，輸送到四極桿濾質(zhì)器。四極桿的工作是在四根電極之間的空間產(chǎn)生一隨時(shí)間變化的特殊電場(chǎng)，只有給定質(zhì)荷比（m/z）的離子才能獲得穩(wěn)定的路徑而通過(guò)極棒，從其另一端出射，實(shí)現(xiàn)離子的質(zhì)量分離。
快速掃描：四極桿掃描速度很快，大約每100毫秒可掃描整個(gè)元素覆蓋的質(zhì)量范圍，能夠快速地對(duì)不同質(zhì)荷比的離子進(jìn)行檢測(cè)和分析。
5、檢測(cè)系統(tǒng)
離子檢測(cè)：經(jīng)過(guò)質(zhì)量分析器分離后的離子進(jìn)入檢測(cè)器，檢測(cè)器對(duì)進(jìn)入的離子個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，從而得到最終的元素的含量或同位素比值等信息。
高靈敏度檢測(cè)：具有很高的靈敏度，能夠檢測(cè)到極低含量的元素，檢出限可達(dá)納克每毫升或更低水平。
